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格蘭菲申請功率半導體器件結(jié)構(gòu)及其制備方法專利,有利于終端區(qū)面積縮小

發(fā)表于:2024-10-12 來源:半導體產(chǎn)業(yè)網(wǎng) 編輯:

 國家知識產(chǎn)權(quán)局信息顯示,格蘭菲智能科技股份有限公司申請一項名為“功率半導體器件結(jié)構(gòu)及其制備方法”的專利,公開號 CN 118748202 A,申請日期為2024年7月。

專利摘要顯示,本申請涉及一種功率半導體器件結(jié)構(gòu)及其制備方法。該結(jié)構(gòu)包括:襯底,其中,襯底被劃分為元胞區(qū)和終端區(qū),終端區(qū)位于元胞區(qū)的外圍;主結(jié)結(jié)構(gòu),位于襯底的第一側(cè)且位于元胞區(qū)內(nèi)多個場環(huán)結(jié)構(gòu)位于襯底的第側(cè)且位于終端區(qū)內(nèi),多個場環(huán)結(jié)構(gòu)包括多個場限環(huán)和至少一個截止環(huán)。至少一個截止溝槽,位于襯底的第一側(cè)、且在第一方向上位于相鄰的場限環(huán)和截止環(huán)之間,截止溝槽內(nèi)填充有電極材料。通過設(shè)計截止溝槽,且截止溝槽內(nèi)填充有電極材料,截止溝槽結(jié)構(gòu)能夠等同于一個電極,實現(xiàn)電場的截止,因此可以縮短最外圍的一個場限環(huán)和截止環(huán)之間的距離,進而有利于終端區(qū)的面積的縮小,便于實現(xiàn)功率半導體器件的小型化、集成化設(shè)計。

 

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